【普樂斯】半導(dǎo)體等離子表面處理設(shè)備 VPC-400T

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品牌：普樂斯

名稱：半導(dǎo)體等離子表面處理設(shè)備

型號： VPC-400T

功率：整機(jī)峰值功率30KW

用途：用于不同材料的表面處理、適合于半導(dǎo)體行業(yè)

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v觸摸屏操作界面
v數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示
v蜂鳴器+紅色指示燈報(bào)警功能
v自動(dòng)/手動(dòng)操作模式切換
v可存儲多套工藝配方
v可按客戶要求進(jìn)行定制

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型號		CPC-400T	VPC-400T
控制系統(tǒng)	控制方式	全自動(dòng)控制（自動(dòng)/手動(dòng)切換）
		PLC
	操作系統(tǒng)	Windows 10
	觸摸屏	15寸
整機(jī)規(guī)格	尺寸	W1000×D1650×H1650mm
腔體	尺寸	Φ280×D550mm
	材質(zhì)	316不銹鋼（標(biāo)配）/鋁合金（可選）
料道	料道數(shù)量	4個(gè)
	料道寬度	30-80mm（可任意調(diào)節(jié)）
	料道長度	100-2600mm（可任意調(diào)節(jié)）
	UPH	300-500片/小時(shí)（清洗10秒，可根據(jù)工藝要求設(shè)置）
真空計(jì)	皮拉尼式真空計(jì)	1個(gè)
流量計(jì)	MFC+浮子流量計(jì)	1路MFC，1路浮子流量計(jì)；Ar、N₂、O₂（可選）
真空泵	機(jī)械油式旋片泵	1套
發(fā)生器	中頻/射頻	40KHz，0~500W	13.56MHz，0~150W
額定功率	整機(jī)峰值功率	30KW
機(jī)臺供電	單相三線式	AC-3800V
選購品	干式泵、氣浴電極（打孔）、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H₂安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機(jī)、模溫機(jī)、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件